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    URE-2000/A8紫外单面光刻机

    • 型号URE-2000/A8
    • 模式紫外单面光刻机

    1、设备主要技术指标:(1) 曝光面积: 200mm×200mm; (2)分辨力:£3mm;(3)对准精度:±2mm;(4)掩模尺寸:5英寸、7英寸、9英寸;(5)样片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸;(6)wafer chuck表面:防止光反射涂层;(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;(8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;   Y:

    1. 详细信息

    1、设备主要技术指标:

    (1) 曝光面积: 200mm×200mm 

    2)分辨力:£3mm

    3)对准精度:±2mm

    4)掩模尺寸:5英寸、7英寸、9英寸;

    5)样片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸;

    6)wafer chuck表面:防止光反射涂层;

    7)掩模样片整体运动范围:X10mm;Y:10mm

    8)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6°;

    9)汞灯功率:1000W(直流);

    10)曝光能量密度: 15mW/cm

    11)光源能量控制:光源恒功率(每日测量光强,微调recipe(参考356nm波长) 

    12)曝光峰值波长:365nm;

    13)曝光方式:定时(倒计时方式0.1s9999.9s);

    14)光刻版夹具兼容性

    15)具有盲曝粗对准功能。

    2.技术主要组成部分

    1)曝光头系统包括:

         ¨ 冷光椭球镜;

    ¨ 德国OSRAM1000W直流高压汞灯

    ¨ XYZ汞灯调节台;

    ¨ 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);

    ¨ 冷却风扇。

    2)对准工件台系统包括:

    ¨ 掩模样片相对运动台;

    ¨XY),转动台;

    ¨ 样片调平机构;

    ¨ 样片调焦机构

    ¨ 承片台3个: 4英寸、6英寸、8英寸;

    ¨ 掩模夹3个:5英寸、7英寸、9英寸。

    3CCD对准显微镜系统包括:

    ¨4倍显微镜2只;

    ¨照明光源2套;

    ¨ CCD相机2只;

    ¨22英寸液晶显示器。

    5)电控系统:

    ¨ 汞灯触发电源(1000W)

    ¨ 单片机控制系统;

    ¨ 控制柜桌。

    6)气动系统系统包括:

    ¨ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等

    7)其他配置与附件

    ¨真空一台;

    ¨空压机一台;

    ¨ 配套气管10m;

    3.相关技术资料

         ¨设备使用及维护说明书

    ¨出厂检验合格证。