澳门新濠天地3559com_澳门新濠天地(娱乐网站)手机版
首页 > 仪器设备 > 光刻机

    URE-2000/30型光刻机

    • 型号URE-2000/30
    • 模式

    1.技术特征l 高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供USB输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储l 采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好l 对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换l 采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚l 上下片、版十分方便,自动化程度高,操作

    1. 详细信息

    1.技术特征

    高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供USB输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储

    采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好

    对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换

    采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚

    上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜

    2.技术参数

    曝光面积:100mm×100mm(可升级为6英寸)

    曝光波长:365nm

    分辨力:1mm(胶厚1.5 mm的正胶)

    对准精度:±0.6mm

    显微镜扫描台运动范围:X10mm;Y:10mm

    掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

    样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片)                 

              厚度0.1mm--6mm

    曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

    具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能

    照明不均匀性: 3%f100mm 范围)

    双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800

    物镜三对:4倍、10倍、20

    目镜三对:10倍、16倍、20

    调平接触压力通过传感器保证重复

    数字设定对准间隙和间隙

    具备压印模块接口,也具备接近模块接口

    掩模相对于样片运动行程:

       X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±

    最大焦厚:400mmSU8胶,用户提供检测条件)

    光源平行性:3 º

    曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 ºC

    单层曝光一键完成

    采用球气浮+三爪找平

    汞灯功率:350W(直流,进口

    3.外形尺寸:1400mm(长)´900mm() ´1500mm(高)

    4.配置

    1)曝光头

    冷光椭球镜

    350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

    XYZ汞灯调节台

    冷却风扇

    光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2

    2)对准工件台

    光刻机底座

    工位切换台(气缸)

    掩模样片整体运动台

    掩模样片相对运动台

    转动台

    样片调平机构,三点自动完成

    样片调焦机构,电机自动调

    基片抽拉式上下机构

    承片台4个:f15mm f40mmf60mmf100mm(可按用户要求增减)

    掩模夹4个:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸(可按用户要求增减)

    样片抽拉式上下机构

    3)对准显微镜

    光源、 电源

    双目双视场对准显微镜主体

    目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)

    物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)

    CCD对准系统,22寸液晶显示器

    4)电控系统

    汞灯触发电源(350W直流汞灯)

    单片机控制系统

    控制面板

    控制柜桌 

    5)气动系统

    气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

    电磁阀驱动

    气动仪表 

    6)其他附件

    真空一台

    空压机一台

    配套接口管道

    7)技术资料

    使用维修说明书

    产品检验合格证