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    KW-4A 匀胶机

    • 型号KW-4A 匀胶机
    • 模式旋涂

    KW-4A台式匀胶机适应于直径5-100mm硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺匀胶机,制版的表面涂覆,转速500-8000转。

    1. 详细信息

    产品名称:

    中科院微电子所KW-4A匀胶机

     

    一、KW-4A匀胶机产品介绍

    1、中科院微电子所KW型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。

    2、该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。

    3、通常配无油真空一起使用。经过20多年的发展,目前产品占国内市场的70%以上。 

    4、目前的型号有KW-4A型和KW-5型。 

     

    二、KW-4A匀胶机规格参数

     1、调速范围和匀胶时间  

          Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分    Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒  

          Ⅱ档 调速范围:1300-8000转/分   Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒 

    2、适用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶(硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等各种材料)。

    3、LED数字显示,转速稳定度:±1%,胶的均匀性:±3%。 

    4、电机功率:40W  

    5、真空泵抽气速率≥60升/分 

    6、体积小,重量轻,操作简便 

    7、仪器尺寸:210×220×160mm   

    8、标配 3 个基片托盘:直径 8mm,1 英寸,2 英寸,(4英寸可选配。)

    9、可选配件无油泵

    无油真空泵基本参数:

    1) 型号: AP-550v;

    2) 抽速:1.5 升/秒;

    3) 功率:320W;

    4) 噪音:58db;

    5) 电压、频率:~ 220V/50Hz;

    6) 最低真空度:﹣700mmHg;

    7) 重量:5.8kg;

    8) 外形尺寸:240×130×200mm。

    三、KW-4A 匀胶机产品主要特点

    1) 开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。

    2) 转速在 500~8000 转/分范围内非常稳定。

    3) 采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到 高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在 1~18 秒 和 3 秒~1 分钟。

    4) 具有定时功能。

    5) 测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。

    6) "吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合 流水线的工艺,提高了效率。

    7) 在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。

    四、KW-4A型匀胶机使用说明

    1) 将塑料管接到匀胶机后面板的抽气嘴上。

    2) 电源线插座插入无油泵底座“~220V”插孔里。

    3) 电源线插头插入电源线接板的~220V。

    4) 此泵有两个气嘴,一个气嘴已接好塑料管,另一端接到匀胶机后面板即

    可,另一只气嘴为出气嘴,不要堵住。

    5) 电源开关“O”为关闭,“-”为开启。

    6) 将开关置于“-”位置,真空泵即可运转。

    7) 和匀胶机连用时,当需要吸片时,先开泵电源,真空泵应处于工作状态,

    只需要再按匀胶机面板上的吸气键,即可控制通电。

    8) 不工作时将泵上的开关断开。




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